Etching of the Aluminum Foil Surface Using High-Frequency Plasma to Produce a Nanoporous Aluminum Oxide Membrane

2021

Закрытый доступ Метаданные (CSL-JSON)
DOI 10.1109/elconrus51938.2021.9396575
Достоверность данных 70 средняя
Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

This work is related to the treatment of the surface of aluminum foil with plasma in a high-frequency discharge and the formation of a nanoporous aluminum oxide membrane based on it using an electrochemical anodizing process. It was known that after plasma etching, tracks were formed on the surface of aluminum foil. It is established that these changes will depend on the power of the high-frequency discharge. The surface of aluminum foil treated with plasma and nanoporous aluminum oxide membranes formed after electrochemical anodizing were studied using scanning electron microscopy.