Copper-Containing Compositions Based on Alicyclic Polyimide for Microelectronics

2017

Закрытый доступ Метаданные (CSL-JSON)
DOI 10.24151/1561-5405-2017-22-6-509-517
Достоверность данных 70 средняя
Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

Медьсодержащие композиции на основе алициклического полиимида для микроэлектроники В.Д.Кравцова 1 , М.Б.Умерзакова 1 , Н.Е.Коробова 2 , Д.В.Вертянов 2 1 АО «Институт химических наук им.А.Б.Бектурова», г.Алматы, Республика Казахстан 2 Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г.Москва,