Copper-Containing Compositions Based on Alicyclic Polyimide for Microelectronics

2017

Жабық қол жеткізу Метадеректер (CSL-JSON)
DOI 10.24151/1561-5405-2017-22-6-509-517
Деректер сенімділігі 70 орташа
Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

Медьсодержащие композиции на основе алициклического полиимида для микроэлектроники В.Д.Кравцова 1 , М.Б.Умерзакова 1 , Н.Е.Коробова 2 , Д.В.Вертянов 2 1 АО «Институт химических наук им.А.Б.Бектурова», г.Алматы, Республика Казахстан 2 Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г.Москва,