Electron-beam-induced modification of stoichiometry and acceleration of titanium diffusion in Al2O3/Al/C structures

Alexander D. Pogrebnjak, Б. П. Гриценко, Sergei M. Duvanov, N.A Pogrebnjak, М. К. Кылышканов, V. V. Ponaryadov

2006

Закрытый доступ Метаданные (CSL-JSON)
DOI 10.1134/s1063785006120194
Достоверность данных 85 высокая
Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

The electron-beam-induced modification of stoichiometry and acceleration of titanium diffusion in Al 2 O 3 /Al/C structures have been studied for the first time using He 4+ ion backscattering, scanning electron microscopy, and electron probe microanalysis techniques. It is established that the electron beam treatment leads to an increase in the effective diffusion coefficient of ion-implanted titanium, changes the ratio of aluminum and oxygen concentrations in the α-Al 2 O 3 layer, and induces the substitution of carbon for oxygen in this layer.