Electron-beam-induced modification of stoichiometry and acceleration of titanium diffusion in Al2O3/Al/C structures

Alexander D. Pogrebnjak, Б. П. Гриценко, Sergei M. Duvanov, N.A Pogrebnjak, М. К. Кылышканов, V. V. Ponaryadov

2006

Жабық қол жеткізу Метадеректер (CSL-JSON)
DOI 10.1134/s1063785006120194
Деректер сенімділігі 85 жоғары
Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

The electron-beam-induced modification of stoichiometry and acceleration of titanium diffusion in Al 2 O 3 /Al/C structures have been studied for the first time using He 4+ ion backscattering, scanning electron microscopy, and electron probe microanalysis techniques. It is established that the electron beam treatment leads to an increase in the effective diffusion coefficient of ion-implanted titanium, changes the ratio of aluminum and oxygen concentrations in the α-Al 2 O 3 layer, and induces the substitution of carbon for oxygen in this layer.