Optimization of deposition parameters for thin film lithium phosphorus oxynitride (LIPON)

Berik Uzakbaiuly, Aliya Orazalinovna Mukanova, Indira Kurmanbayeva, Zhumabay Bakenov

Eurasian journal of physics and functional materials, 2019

Полный текст Открытый доступ: Gold Метаданные (CSL-JSON)

DOI 10.29317/ejpfm.2019030209

Достоверность данных 85 высокая

Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

Thin film of lithium phosphorus oxynitride (LIPON) was successfully deposited by radio frequency (RF) magnetron sputtering technique using a Li 3 PO 4 target. The optimal deposition parameters were determined for the thin films with the highest target-substrate distance. Characterization of deposited film was carried out by AFM, FTIR and Raman spectroscopy, which showed incorporation of nitrogen into the film as both doubly, N d , and possibly triply, N t , coordinated form. The ac impedance spectroscopy measurements revealed that the highest ionic conductivity of 1.1 µScm -1 was achieved at room temperature for the samples prepared at the optimum RF power and gas flow conditions.