Abstract
В настоящей работе представлены результаты исследований микроструктуры и морфологии поверхности нитрида галлия, полученного методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) на кремниевой и кварцевой подложках. Изучены спектры комбинационного рассеяния, рентгеновской дифракции и EDAX. Получен нитрид галлия пирамидальной структуры при 760 оС при нормальном атмосферном давлении, однородный по размерам (1,75 µm) и направленные преимущественно перпендикулярно к поверхности подложки высотой 4,59 µm.