LIGHT-EMITTING N-RICH SILICON NITRIDE FILMS DEPOSITED BY PLASMA-ENHANCED AND LOW-PRESSURE CVD

И. Н. Пархоменко, Fadei Fadeevich Komarov, Liudmila A. Vlasukova, O. V. Milchanin, Maxim A. Makhavikou, А. В. Мудрый, V. Zhyvulka, J. Żuk, P. Kopyciński, L. Toganbaeva

2014

Закрытый доступ Метаданные (CSL-JSON)

DOI 10.1615/hightempmatproc.2015015576

Достоверность данных 70 средняя

Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

N-rich silicon nitride films were deposited on Si wafers by plasma-enhanced (PECVD) and low-pressure chemical vapor deposition (LPCVD) techniques and, subsequently, annealed at 600°C. In spite of the same thickness and similar stoichiometric composition, the PECVD and LPCVD silicon nitride films differ in their light-emitting properties. The photoluminescence (PL) maxima lie in the red region and in the blue region for PECVD and LPCVD SiN1.5 films, respectively. The PL is most intensive for films deposited by PECVD. The characteristic features of the photoluminescence spectra of two sets of N-rich films are explained taking into account the contribution from the band tail states and defects in the silicon nitride matrix.