Microdetermination of silicon dioxide on the surface by sensors based on perfluorinated proton-conducting membranes

2012

Закрытый доступ Метаданные (CSL-JSON)
DOI 10.1134/s1063784212060199
Достоверность данных 70 средняя
Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

A microdetermination method of silicon dioxide on the silicon surface is studied. In this method, a thin SiO 2 layer is dissolved in an aqueous solution of hydrofluoric acid and then the resulting solution is analyzed with sensors based on perfluorinated proton-conducting membranes. Quantitative determination of silicon dioxide remaining on the silicon surface in a quantity as low as 1 × 10 −6 mol is demonstrated to be feasible.