Control and optimization of technological processes for forming nanoscale films for sensitive sensor elements

2020

Полный текст Открытый доступ: Gold Метаданные (CSL-JSON)
DOI 10.1088/1757-899x/971/4/042086
Достоверность данных 70 средняя
Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

Abstract Modern metal film sensors are used in products and systems of rocket, space and aviation equipment, in extreme operating conditions. In order for the sensors to function correctly in such conditions, they must have a high temporary stability over the entire life of operation and storage. In addition, metal film sensors are often operated at elevated temperatures and under the influence of large-scale vibration and shock. Therefore, they must have high mechanical static and dynamic strength. Increased requirements for the reliability, accuracy and strength of metal film sensors force designers and technologists to develop new design and technological solutions that ensure the regular operation of sensors in products and systems of rocket, space and flight equipment.