Structural and Transport Properties of Dust Formation in Plasma of Noble Gases Mixture in Radio Frequency Discharge

2013

Закрытый доступ Метаданные (CSL-JSON)
DOI 10.1002/ctpp.201200122
Достоверность данных 70 средняя
Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

Abstract In the present paper properties of dust formation in RF discharges of pure helium and helium‐argon mixture are investigated. Analysis of macroscopic properties of dust formation at different pressures of background gas reveals a change of properties of dust formation in the mixture of gases in comparison with discharge in pure helium. As possible mechanisms for observed behavior, a change of ion jet content and a friction of neutral component are considered. (© 2013 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)