Studying the composition and structure of films obtained by thermal oxidation of copper

Sh. R. Adilov, V. P. Afanaciev, I N Kashkul, S. E. Kumekov, Nikolay V. Mukhin, Evgeny I. Terukov

2017

Достоверность данных 70 средняя

Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

The composition and structure of copper oxide thin films obtained by thermal oxidation of copper layers with a thickness of 100 nm, deposited onto quartz glass by high-frequency magnetron sputtering, have been studied. The dependences of the film thickness and content of CuO and Cu 2 O oxides in it on the temperature–time conditions of thermal treatment are obtained. The studies have shown that depending on the preparation modes, the films can be multiphase and contain different copper oxides, predominantly, CuO and Cu 2 O, which possess different bandgaps and p -type conductivity.