Characteristics of ion-plasma coatings AlN-TiB2(TiSi2) after annealing

2014

Жабық қол жеткізу Метадеректер (CSL-JSON)
DOI 10.1109/crmico.2014.6959623
Деректер сенімділігі 70 орташа
Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

The magnetron sputtered coatings on base of AlN-TiB2(TiSi2) are investigated in this paper. The element composition, structural-phase composition, morphology are investigated after annealing of coatings with 900°C and 1300°C. The amorphous structure and high damping properties of the AlN-TiB2(TiSi2) coating make promising the use of these coatings as diffusion barriers in the form of independent elements.