Аннотация
В работе был изготовлен газовый сенсор на основе гетероструктурного материала, состоящего из пористого кремния (ПК) и оксида вольфрама (WO3). ПК был получен методомэлектрохимического травления,а гетероструктурный материал ПК/ WO3методом магнетронного распыления. С помощью сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) Quanta 200i 3D, системы NT-MDT Solver Spectrum, дифрактометра Rigaku Miniflex 600 и модуля NI ELVIS II+ были исследованы электрические и морфологические характеристики полученного гетероструктурного материала, а также его чувствительность к различным газам. Экспериментальные работы показали, что среди нескольких видов газа, полученных в качестве пробы, указанный газовый сенсор обладает высокой чувствительностью к молекулам аммиака, соответственно исследуемый материал может быть использован в качестве селективного сенсора аммиака. Бұл жұмыста кеуекті кремний мен вольфрам оксидінен тұратын гетероқұрылымдық материал негізінде газ сенсоры жасалды. Кеуекті кремний электрохимиялық жеміру арқылы, ал кеуекті гетероқұрылымды кремний/WO3материалы магнетронды шашырату арқылы алынды. Quanta 200i 3D сканерлеуші электронды микроскопы (СЭМ), NT-MDT Solver Spectrum жүйесі, Rigaku Miniflex 600 дифрактометрі және NI ELVIS II+ модулі арқылы гетероқұрылымды материалдың электрлік және морфологиялық сипаттамалары, сондай-ақ оның әртүрлі газдарға сезімталдығы зерттелді. Эксперименттік жұмыс аталмыш газ сенсорының үлгі ретінде алынған газдың бірнеше түрлерінің ішінде аммиак молекулаларына жоғары сезімталдыққа ие екенін көрсетті, сәйкесінше зерттелетін материалды аммиактың селективті сенсоры ретінде пайдалануға болады. In this work, agas sensor was fabricated based on a heterostructural material consisting of porous silicon and tungsten oxide. Porous silicon was obtained by electrochemical etching, and porous silicon/WO3 material was obtained by magnetron sputtering.Using a Quanta 200i 3D scanning electron microscope (SEM), an NT-MDT Solver Spectrum system, a Rigaku Miniflex 600 diffractometer, and an NI ELVIS II+ module, the electrical and morphological characteristics of the resulting heterostructure material, as well as its sensitivity to various gases, were studied. Experimental work has shown that among several types of gas obtained as a sample, the specified gas sensor has a high sensitivity to ammonia molecules, respectively, the material under study can be used as a selective ammonia sensor.