Аннотация
В данной работе описывается оптическая плоская волноводная брэгговская решетка, которая включаетв себя кремниевый волновод, полимерный волновод и волновод кремний-на диэлектрике (КНД) в применении для биосенсоров. Темы настоящей статьи включают в себя проектирование и изготовление протравленной плоской волноводной одиночной брэгговской решетки и полимерной и кремний-на диэлектрике (КНД) плоской волноводной брэгговской решетки датчиков оптического преломления резонатора Фабри-Перо. Показано, что чем выше показатель преломления среды, тем больше изменяется резонансный пик датчика. Полость решетки Брэгга более чувствительна,чем одиночная брэгговская решетка в той же области длины волны. Поэтому брэгговская решетка с полостью более чувствительна, чем единственная брэгговская решетка. Кроме того, более короткая волноводная полость FP может обнаруживать гораздо большую чувствительность, чем более длинная, что будет перспективным для того, чтобы уменьшить датчики настолько наноразмерно, что можно обнаружить чрезвычайно низкую концентрацию молекул. Датчик, разработанный в данном исследовании, демонстрирует большую перспективность для применения в биомедицинской диагностике, такой как биосенсор и / или биохимические датчики мониторинга окружающей среды.