Vacuum nanoscale carbon coatings

2024

Полный текст Открытый доступ: Green Метаданные (CSL-JSON)
DOI 10.1117/12.3054881
Достоверность данных 70 средняя
Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

This article illustrates the problem ensuring homogeneity and uniformity of nanoscale coatings obtained in vacuum by carbon vapor deposition. Carbon vapors are obtained by heating in a vacuum with one or more electron beams from a water-cooled crucible, which is covered with a molten layer of refractory metal. Due to the peculiarities of the trajectory of the movement of carbon vapors from the crucible to the substrate, a situation may arise with the formation of a "visor" type defect on the coating, which prevents the uniformity of the coating.