Computer simulation of layer‐by‐layer sputtering at grazing low‐energy ion‐surface interactions

Farid F. Umarov, A.A. Dzhurakhalov

2012

Достоверность данных 70 средняя

Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

The peculiarities of sputtering processes at low‐energy Ne grazing ion bombardment of Si(001), SiC(001) and Cu 3 Au(001) surfaces and their possible application for the surface modification have been studied by computer simulation. Sputtering yields in the primary knock‐on recoil atoms regime versus the initial energy of incident ions (0.5–5 keV) and angle of incidence (0–30°) with respect to the target surface have been calculated. It was shown that in the case of grazing ion bombardment, the layer‐by‐layer sputtering is possible, and its optimum is observed within the small angular range of the glancing angles near the threshold sputtering angle. Comparative studies of layer‐by‐layer sputtering for Si(001) and SiC(001) surfaces versus the initial energy of incident ions as well as an effective sputtering and sputtering threshold are discussed. Copyright © 2012 John Wiley & Sons, Ltd.