The Effect of Nonequilibrium Synthesis Conditions on the Structure and Optical Properties of Amorphous Carbon Films

2019

Закрытый доступ Метаданные (CSL-JSON)
DOI 10.1134/s0030400x19080228
Достоверность данных 70 средняя
Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

Amorphous carbon (a-C) thin films are synthesized using a nonequilibrium method of ion-plasma sputtering of a graphite target under argon atmosphere at a constant plasma current. The local structure of carbon films is studied by the Raman spectroscopy method. Using the normal distribution in the decomposition of the Raman spectra, it is found that a peak typical for a phonon density of states with sp3 bond hybridization appears in the frequency region of 1260 cm–1 at synthesis temperatures of less than 150°C. In addition, the influence of the dimensions of nanostructures composed of sp2 sites on the width of optical bandgap and their correlation with the results of X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) in a-C films is shown.