The Diagnostics of Dusty Plasma in RF Discharge by Two Different Methods

2013

Закрытый доступ Метаданные (CSL-JSON)
DOI 10.1002/ctpp.201200123
Достоверность данных 70 средняя
Как считается эта оценка

Складывается из проверяемых признаков самой записи: есть ли у статьи DOI, сколько независимых источников подтвердили её данные, заполнены ли обязательные поля и насколько свежо последнее подтверждение. Снижают оценку расхождения между источниками и отсутствие идентификатора. Значение от 80 означает, что запись опубликована без дополнительной проверки; от 60 до 79 — что она опубликована с пониженной достоверностью и ручная проверка желательна. Запись, выверенную редактором вручную, пересчёт не опускает ниже 90. Это оценка наших данных о статье, а не оценка самой статьи.

Аннотация

Abstract This work consists of two parts. First part describes the results of optical spectral diagnostics of dusty plasma of carbonaceous gas mixtures in radio frequency discharge. The change in the emission spectrum of the plasma of mixture of argon and methane with introducing of the dust particles was observed. It was explained by the change in the electron temperature. The same effect was observed in other gases: argon, argon‐hydrogen mixture. The second part is about diagnostics of buffer plasma parameters on the basis of dust structure characteristics obtained in the experiments. The possibility of diagnostics of buffer plasma on the basis of experimental data of microscopic characteristics was shown. (© 2013 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)