Express Technology of Electrochemical Etching of Gallium Arsenide for the Formation of Massive Island Pores

2023

Жабық қол жеткізу Метадеректер (CSL-JSON)
DOI 10.1109/khpiweek61412.2023.10312896
Деректер сенімділігі 70 орташа
Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

This study presents an express technology for the electrochemical etching of Gallium Arsenide (GaAs) to form massive island pores. The n-type GaAs (Ill) single crystal plates are processed with a short pulse of strong current followed by a lower current density stage. The method forms a porous layer with almost wholly removing the GaAs surface single-crystal layer in just 3.5 minutes. The success of the technology relies on the application of a two-stage electrochemical treatment process, which in turn can find practical use in the formation of textured semiconductor layers on an industrial scale for photovoltaic applications. The article presents the EDX results and observations on pore-shape formations.