InGaAsP-InP ridge-waveguide DBR lasers with first-order surface gratings fabricated using CAIBE

Robert M. Lammert, A.M. Jones, Chris Youtsey, J.S. Hughes, S.D. Roh, I. Adesida, J. J. Coleman

2002

Жабық қол жеткізу Метадеректер (CSL-JSON)

DOI 10.1109/leos.1997.630624

Деректер сенімділігі 70 орташа

Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

Generally, the fabrication of distributed Bragg reflector (DBR) and distributed feedback (DFB) lasers requires regrowth over a grating. While fabricating these devices, special measures must be taken in order to preserve the grating during the regrowth. Moreover, surface preparation techniques are needed to remove grating fabrication contamination before regrowth. Utilizing surface gratings to fabricate DBR lasers solves the problem of regrowth. In this work, we employ chemically assisted ion beam etching (CAIBE) to form first-order DBR gratings into a 0.74 /spl mu/m thick upper cladding structure for an InGaAsP-InP ridge-waveguide (RW) DBR QW laser with a first-order grating.