Electrical characteristics of Al/sub 2/O/sub 3/ films using the sol-gel method

2002

Жабық қол жеткізу Метадеректер (CSL-JSON)
DOI 10.1109/icpadm.1997.616577
Деректер сенімділігі 70 орташа
Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

Dielectric films have been prepared by the electrophoretic method from metal alkoxide solutions. The film formation process by hydrolysis of metal alkoxide/alcohol solutions consisted of 3 main stages: preparation of stable organosols with monodisperse particles; electrophoretic deposition; and dehydration of gel, which was formed after electrophoretic deposition on the stainless steel substrates. The authors investigated the influence of sol age on the quality of the films. It was also observed that internal structural variations in organosols significantly alter the sintering behavior of oxide films and affect their subsequent crystalline transformation. The formation properties of Al/sub 2/O/sub 3/ thin amorphous films and films armoured by "whiskers" are discussed.