Investigation of Critical Points of Pore Formation Voltage on the Surface of Semiconductors of A3B5 Group

Ihor Bohdanov, Yana Suchikova, Сергій Ковачов, Valentina Peregudova, Alma K. Dauletbekova, Anatoli I. Popov

2021

Жабық қол жеткізу Метадеректер (CSL-JSON)
DOI 10.1109/elit53502.2021.9501107
Деректер сенімділігі 85 жоғары
Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

In this work, critical values of pore-formation in electrochemical machining of semiconductors of A3B5 group are studied. On the example of indium phosphide, the indicators of the series of dependence of current density on the voltage of anodization are studied. The rates of current density increase in the regime of gradual rise of anodization voltage are determined. According to these indicators, the intervals are established, within which the active pore-formation occurs on the surface of semiconductor.