Problems Arising from Using KOH–IPA Etchant to Texture Silicon Wafers

2020

Жабық қол жеткізу Метадеректер (CSL-JSON)
DOI 10.1134/s1063784220100047
Деректер сенімділігі 70 орташа
Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

Abstract Wet chemical processing of single-crystal silicon wafers, including their texturing, is a key process step in the fabrication of high-efficiency solar cells. Methods of texturing single-crystal silicon wafers used in solar cell technology have been studied. Optimal texturing parameters have been determined for test samples, and the most effective etchant for texturing, a KOH–isopropanol solution, has been found.