Аңдатпа
Журнал технической физики, 2017, том 87, вып.7 06 Способ получения тонких пленок графита и оксида алюминия © К.М.Маханов, 1 К.Т.Ермаганбетов, 1 Л.В.Чиркова, 1 М.А.Маукебаева 2 1 Карагандинский государственный университет им.акад.Е.А.Букетова, 100028 Караганда, Республика Казахстан 2 Жетысуский государственный университет им.И. Жансугурова, 040009 Талдыкорган, Республика Казахстан e-mail: