Impedance study of undoped, polycrystalline diamond layers obtained by HF CVD

2017

Толық мәтін Ашық қол жеткізу: Hybrid Метадеректер (CSL-JSON)
DOI 10.1007/s00339-017-0899-0
Деректер сенімділігі 70 орташа
Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

In this paper, we report results of impedance measurements in polycrystalline diamond films deposited on n-Si using HF CVD method. The temperature was changed from 170 K up to RT and the scan frequency from 42 Hz to 5 MHz. The results of impedance measurement of the real and imaginary parts were presented in the form of a Cole–Cole plot in the complex plane. In the temperatures below RT, the observed impedance response of polycrystalline diamond was in the form of a single semicircular form. In order to interpret the observed response, a double resistor–capacitor parallel circuit model was used which allow for interpretation physical mechanisms responsible for such behavior. The impedance results were correlated with Raman spectroscopy measurements.