Stress-induced alignment and reorientation of hydrogen-associated donors in silicon

1998

Жабық қол жеткізу Метадеректер (CSL-JSON)
DOI 10.1063/1.368804
Деректер сенімділігі 70 орташа
Бұл баға қалай есептеледі

Ол жазбаның өзінің тексерілетін белгілерінен құралады: мақаланың DOI-і бар ма, оның деректерін қанша тәуелсіз дереккөз растады, міндетті өрістер толтырылған ба және соңғы растау қаншалықты жаңа. Дереккөздер арасындағы алшақтық пен идентификатордың болмауы бағаны төмендетеді. 80-нен бастап мән жазбаның қосымша тексерусіз жарияланғанын, 60-тан 79-ға дейін — оның сенімділігі төмен күйде жарияланғанын және қолмен тексеру ұсынылатынын білдіреді. Редактор қолмен тексерген жазбаны қайта есептеу 90-нан төмен түсірмейді. Бұл — мақаланың өзіне емес, ол туралы деректерімізге берілген баға.

Аңдатпа

Electron paramagnetic resonance (EPR) studies have been made of the stress-induced alignment and the subsequent recovery of the double donor (AA1 EPR center) that is formed in float-zone silicon following hydrogen implantation and annealing for ∼20 min at a temperature above ∼300 °C. The obtained data compare with those of the thermal double donor (NL8 EPR center). The activation energy for atomic reorientation of the (HDD+) AA1 defect is (2.3±0.1) eV. The reorientation rate is greater than that of the (TDD+) NL8 defect formed in Czochralski Si by a factor of 104. Both centers have C2v symmetry and piezospectroscopic measurements reveal a large compressional strain along their [001] (three-axis) direction. However, in contrast to the NL8, the core of the AA1 defect produces also large compressional strain along its one-axis parallel to [110] direction. These data demonstrate unambiguously that the two centers have different molecular structures, in spite of their similar EPR spectra and electrical properties. It is suggested that the two centers have similar core structures (a 〈001〉-oriented self-interstitials complexes), while the outer shell structure incorporates hydrogen or oxygen atoms, respectively.